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电子厂房高纯气体工艺与施工工程

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电子厂房高纯气体工艺与施工工程 前言近 10 年来,随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产,对高纯气体洁净度的要求,已不亚于对纯度和干燥度的要求,凡工艺气体,无一不对其中的粒子提出限制。因此,对于高纯气体,纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯度气体的使用地点、性质、工况(如温度、压力等)都不完全一致,所以,如何确定高纯气体的“三度”(纯度、干燥度、洁净度),还没有一个严格而明确的概念。 对于纯度和干燥度的控制,我国 CBJ73—84 《洁净厂房设计规范》中指出,“高纯气体系指纯度大于或等于 99.9995% ,含水量小于 5ppm 气体。”日本把微电子生产中所采用的气体,按其不同的品位,具体分为下列几个不同的档次:•超高纯气体 气体中杂质总含量控制在 ...

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